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| 所属分类： |
新型材料 |
项目来源： |
自创 |
| 技术持有方姓名： |
南京大学 |
所在地域： |
江苏 |
| 是否中介： |
否 |
是否重点项目： |
否 |
技术简介：
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该技术包括以下步骤：1、手工剥离；2、金属层保护；3、固定；4、光刻图形；5、离子刻蚀；6、绝缘保护；7、超声清洗；8、电极构造和连接。其特征是：在步骤5中，采用低能离子刻蚀；在步骤8中，在台式结构上构造两个顶电极。
该制备技术的优点是：采用低能离子刻蚀，通过精确控制金属层厚度、刻蚀时间等参数，实现了对本征结结数目的初步控制，并进一步利用第二次离子刻蚀和采用寂加刻蚀的方法，实现了对结数目的精确控制。
该成果适用于各种高温超导材料本征结结数目的控制。
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