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所属分类: |
新型材料 |
项目来源: |
自创 |
技术持有方姓名: |
南京大学 |
所在地域: |
江苏 |
是否中介: |
否 |
是否重点项目: |
否 |
技术简介: |
该成果开发了一种应用于金属-氧化物-半导体场效应管的高介电系数栅电介质材料铝酸铪薄膜。其技术方案是把氧化铪和氧化铝粉末经球磨混合后,再冷压成片,然后在高温下烧结而制得铝酸铪陶瓷靶;而后利用脉冲激光沉积技术,在高真空低氧分压下,剥离铝酸铪陶瓷靶,在硅衬底上产生激光等离子沉积,而制成非晶态的铝酸铪薄膜。 该薄膜具有高的热力学稳定性,并有较高介电系数和低漏电流。该材料的性能指标已达到国际同类产品的先进水平,可满足功耗要求不高的半导体中场效应管的实际应用要求。
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