ZnAl2O4/α-Al2O3复合衬底材料的制备方法<%=id%>

所属分类：	新型材料	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海光学精密机械研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	其制备过程包括下列步骤：在铂金坩埚内，放置有带气孔的ZnAl2O4和ZnO混合料块；将双面抛光或单面抛光的蓝宝石α-Al2O3晶片置放或悬挂于铂金丝上，加上覆盖有ZnAl2O4和ZnO混合粉料和热电偶的坩埚盖，坩埚顶部加铂金盖密闭后置于电阻炉中；电阻炉加热升温至1000-1400℃，恒温20-100小时，ZnO扩散到α-Al2O3晶片中；降温，可获得ZnAl2O4/α-Al2O3复合衬底材料。该方法的优点是：工艺简单、易操作、质量稳定，可用于InN-GaN基蓝光半导体外延生长。