电沉积热解制备氧化物薄膜技术<%=id%>

所属分类：	新型材料	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	北京科技大学科研处	所在地域：	北京
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该技术可以获取各种单一氧化物薄膜和多元氧化物薄膜。可用于提高金属的抗腐蚀性能以及获得多种特殊功能，如铁电性能、磁性能、电致变色、化学催化、超导等。该技术可以获得Mg、Ca、Ba、Y、La、Ce、Yb、Ti、Zr、Hf、Ta、Cr、W、Mo、Mn、Fe、Co、Ni、Lr、Pd、Cu、Zn、Cd、Al、In、Si、Sn、Pb等元素的单一氧化物薄膜或它们的多元氧化物薄膜，厚度<0.2μm。氧化物薄膜质量优于溶胶凝胶法，厚度均匀，根据需要可以控制厚度，反复沉积可以获得>0.2μ的薄膜。制备过程简单，重现性好是该技术的优势。该技术获得的氧化物薄膜具有广泛的用途，可以在许多高新技术领域发挥关键的作用甚至带来技术上的突破。投资条件及规模该技术适用于各种生产规模。只要具备比沉积设备和低于500℃的加温设备即可投入生产。