玻璃上的硅光波导材料及其制作方法<%=id%>

所属分类：	新型材料	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海冶金研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该专利是一种玻璃上的硅光波导材料及其制作方法，该材料是以玻璃为衬底，硅为波导层，玻璃或玻璃一氧化硅做限制层的光波导材料。其制作方法包括：硅片抛光面或具有氧化硅层的硅片的氧化硅面和玻璃片抛光面常规清洗后烘干，将玻璃片和硅片或硅片氧化硅面键合，对硅片减薄达到所需厚度。该材料及其制作工艺的优点是：玻璃衬底直接作限制层，限制效果好，制作中无高温工艺，键合结果直观，对后续工艺设备的要求简化。