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| 所属分类： |
新型材料 |
项目来源： |
自创 |
| 技术持有方姓名： |
吉林大学超硬材料国家重点实验室 |
所在地域： |
吉林 |
| 是否中介： |
否 |
是否重点项目： |
否 |
技术简介：
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本成果已达中试阶段。用金刚石厚膜制作金刚石膜切削工具，拉丝膜和修正笔，金刚石厚膜用作激光器，微波器和集成电路的散热板等，具有广泛的市场。效益分析与预测：金刚石厚膜工具作为机加工具有量大，且需求逐渐增加项目转化所需投资：200万元左右。投入产出比，利润率：利润率可达30%以上。成果专利情况： 1 热阴极辉光等离子体化学气相沉制备金刚石膜的工艺；2 用于沉积大面积金刚石膜的灯丝排布固定装置； 3 单晶硅上大面积（100）取向的金刚石膜的生长方法；4 金刚石膜的SOI集成电路芯片材料及其制作工艺； 5 金刚石膜上的薄层结构芯片材料及其制造方法。 |
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