陶瓷--金刚石膜复合材料<%=id%>

所属分类：	新型材料	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	上海市科委	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	用热丝化学气相沉积法和微波等离子体化学气相沉积法在氧化铝陶瓷基片上沉积金刚石膜.克服了氧化铝陶瓷（三方晶系）和金刚石（六方晶系）结构差异大、结合力差的困难。制得了氧化铝陶瓷--金钢石膜复合材料，并摸索出了适合此类复合材料制备的一整套工艺与技术。制得的陶瓷--金钢石膜复合材料经激光paman散射、X射线衍射、SEM扫描电镜和光学显微镜分析表明：沉积膜的纯度高、质量好、且成膜致密。在频率为1MHZ的测试条件下，复合材料的介电系数低至6.04至8.74。与陶瓷相比，价电系数下降超过了20% 利用金刚石膜介电系数小（~5.5），热导率高（10-20w/Cm.S.K）等优异性能，与陶瓷氧化铝复合制得了具有较好综合性能即低介电系数和高热导率的复合材料，克服了目前大多数集成电路采用的陶瓷基片存在的二大缺点：一、热导率小，不利于高功率密度集成，二、介电系数大，不利于提高信息的传播速度。从而有利于提高信号的传递速度和提高芯片功率密度为金刚石膜在微电子中应用开辟了新的领域。