多弧离子镀膜技术<%=id%>

所属分类：	新型材料	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	北京市清华大学	所在地域：	北京
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	多弧离子镀膜技术是在靶材表面形成强烈的电弧，使靶材高效率地蒸发和部分电离，同时在真空腔内的反应气体在阴阳极之间产生等离子体，这样蒸发的金属与反应气的离子在工件表面上形成化合物薄膜。离子镀薄膜一般是金属陶瓷型薄膜，具有硬度高，耐磨防腐的特点，同时，一些薄膜的颜色很精美，可作装饰用。清华大学已与有关单位合作研究开发了多种薄膜系列和生产设备。可以为投资者建设多弧离子镀膜生产线。超硬膜种类已经研制和开发的种类：TiN、TiC、TiCN、ZrN、ZrCN；正在和准备研制的种类：TiAIN、CrN、TiNN、TiZrN、TiNbN。