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    热剥离薄膜图案化加工方法<%=id%>


    所属分类: 石油化工及冶金 项目来源: 自创
    技术持有方姓名: 中国科学院长春应用化学研究所 所在地域: 吉林
    是否中介: 否  是否重点项目: 否 
    技术简介:
    该专利用转移微模塑的方法预固化形成环氧树脂模板,然后将需要图案化的介质在平面基底上成膜,再将预固化的环氧树脂模板由上向下压在需要图案化的薄膜表面,并保持0.1-0.5MPa的压力,然后在80-120℃条件下加深固化5-15分钟,最后将环氧树脂模板剥离,与环氧树脂表面突起部分图形相同的薄膜随环氧树脂模板剥落,从而在薄膜上形成图形。
    该加工方法具有加工设备及工艺简单、形成图案精度高、加工成本低、效率高等特点。
         

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