镍钛合金薄膜多元化学刻蚀剂<%=id%>

所属分类：	石油化工及冶金	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	上海交通大学	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该镍钛合金薄膜多元化学刻蚀剂由1%-25%（V）氢氟酸、0.5%-15%（V）硝酸、2%-20%（V）盐酸和主要成份是碘酸钾、次氯酸钠、过氧醋酸或双氧水中的一种或多种混合物的刻蚀速率促进剂组成，并可以通过补充消耗的活性成份而维持使用性能。该刻蚀剂对光刻胶及许多有机化合物具有高稳定性，可以保证图形转移的精度，提高对复杂细微掩模图形的复制能力，同时可以提高批量加工的成品率，加工成本和废液处理成本非常低。