特种气体三氟化氮<%=id%>

所属分类：	石油化工及冶金	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	所在地域：	河北
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	特种气体三氟化氮作为一种干气体刻蚀剂，正大量应用于微电子工业。在半导体芯片生产过程中，对于加工线宽为2微米或更细的产品，干刻蚀技术已成为一种主要的方法。世界范围内三氟化氮的市场需求量，正随着电子信息工业的飞速发展而越来越大。据美国半导体协会预测，三氟化氮未来几年的需求增长率至少达20%以上。据预测国内近五年的年需求增长率都在50%左右。国内生产三氟化氮的单位只有七一八所一家（年产40吨左右），良好的市场需求为我所三氟化氮项目的产业化开创了非常广阔的市场前景。