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化学气相沉积两步法制大面积硼化镁超导薄膜<%=id%> |
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所属分类: |
石油化工及冶金 |
项目来源: |
自创 |
技术持有方姓名: |
贵州大学 |
所在地域: |
贵州 |
是否中介: |
否 |
是否重点项目: |
否 |
技术简介: |
该工艺由基片清洗、加热分解沉积薄膜、退火生成超导薄膜几个步骤构成,具有工艺简单、过程容易控制、工艺成本低,并可在大面积基片上生成等优点。其面积只受加热器与基片大小的限制,制备出的超导薄膜转变温度在25K-39K之间,并可与现有的微电子工艺相兼容,将薄膜直接应用于高性能超高速微电子系统中。 |
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