亚半微米光刻物镜的恒温水套<%=id%>

所属分类：	石油化工及冶金	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院光电技术研究所	所在地域：	四川
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该专利是一种亚半微米光刻物镜的恒温水套，它由恒温水温度控制器、恒温水箱、水泵和上下水套构成。该恒温水套紧套在物镜镜筒外面，通过水套与物镜内部进行热交换，达到物镜内部温度恒定，从而保持物镜的光学性能质量稳定。它克服了由于长时间通光或周围环境温度波动，引起物镜内部温度变化，造成焦点漂移而产生新的畸变和像散，使成像质量下降的缺点。