|
|
|
|
|
|
| 所属分类： |
生物化学 |
项目来源： |
自创 |
| 技术持有方姓名： |
中国科学院高能物理研究所 |
所在地域： |
北京 |
| 是否中介： |
否 |
是否重点项目： |
否 |
技术简介：
|
该发明是一种上牺牲层加工方法。它以铜为支撑体，镍为结构的夹钳器件。
其方法如下：在由LIGA获得的聚甲基丙烯酸甲酯、钛片、电铸镍结构上，旋转涂紫外胶，在90℃下烘干，作为牺牲层。在紫外光刻机上套刻对准、曝光、显影得到胶图形，该图形作为牺牲层结构；溅射电镀基，电镀加厚，得到金属支撑体；去除钛片，聚甲基丙烯酸甲酯，牺牲层，即得到带有活动部分的夹钳器件。
该发明的优点是工艺简单、实用。 |
| |
|
|
|
|
设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明
Copyriht 2007 - 2008 © 科普之友 All right reserved |
