多功能等离子体浸没离子注入装置<%=id%>

所属分类：	石油化工及冶金	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	哈尔滨工业大学科技处	所在地域：	黑龙江
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	多功能等离子体浸没离子注入装置主要是用于金属、聚合物、半导体材料的表面改性处理。该装置不仅能提供多种气体等离子体，还能提供多种金属等离子体，它能够有效地将离子注入、涂敷、溅射、沉积等现代表现改性处理手段有效地结合起来，从而显著提高材料表面特性。该项技术是离子注入技术的一个新发展，具有广阔的工业应用前景。