尺寸可控的纳米级银颗粒镶嵌钛酸钡薄膜<%=id%>

所属分类：	生物化学	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院固体物理研究所	所在地域：	安徽
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该发明公开了一种将尺寸可控的纳米级银颗粒镶嵌在钛酸钡薄膜中的方法：先制备复合靶，再处理基底及进行溅射，最后是热处理。制备时，采用银和钛酸钡的复合靶，在氩气压为2×10-2托，溅射功率范围为100～150瓦的条件下进行溅射。基底可采用抛光的硅单晶片、石英光学玻璃片及新处理的氯化钠单晶片。溅射期间基底不加热，可得到纳米级银颗粒均匀镶嵌在非晶钛酸钡中的复合薄膜。对所得薄膜进行退火处理，使非晶钛酸钡晶化，可得到纳米级银颗粒镶嵌在多晶钛酸钡中的复合薄膜。通过调整复合靶上银片所占面积，可实现对复合膜中银颗粒数量及尺寸的控制。该发明通过调整银片在复合靶中所占面积，实现对纳米级，银颗粒尺寸的控制。该发明制备的复合膜中银颗粒大小一致，均在纳米量级，平均粒径为8～70纳米。用该发明制备的产品，能与半导体硅片兼容，所以不仅可用于微电子器件集成电路中，还可用于非线性光学器件及量子器件中。