软X射线非冗余全息术中纳米针孔探头及其制备方法<%=id%>

所属分类：	生物化学	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院上海光学精密机械研究所	所在地域：	上海
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	这种软X射线非冗余全息术中纳米针孔探头，包括基片和基片表面上金膜。基片上有大孔，金膜上有针孔，针孔的横向孔径a<200纳米。其特征在于针孔的孔深H>200纳米，针孔的孔缘厚度h>50纳米。纳米针孔在X射线非冗余全息术、X射线扫描显微术和X射线成象显微术，以及利用光盘存储信息技术中有着重要的应用。该发明采用两种方法制作纳米针孔，一种方法是先在带有制作好小圆胶点的基片表面上镀金膜，利用圆胶点形成小孔，再用电镀法缩孔，另一种方法是利用基片表面不平整性直接在表面上镀金膜而获得。两种方法均可制得孔径a<200纳米，孔深H>200纳米，且孔缘厚度h>50纳米的纳米针孔。