阵列波导光栅型梳状滤波器<%=id%>

所属分类：	自动化	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院半导体研究所	所在地域：	北京
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该发明专利是一种阵列波导光栅型梳状滤波器。该滤波器的功能是：将一列频率等间隔的光波信号，交替分为奇数序和偶数序两列，并从两个信道输出。其光传输由表面光波导构成，包括：一基底；一下包层，主要是二氧化硅材料，该层材料制备在基底表面；一芯层，主要是掺锗二氧化硅材料、或硅材料，该芯层制备在二氧化硅的下包层上；在芯层上刻蚀出光传输条状的矩形波导或脊形波导；在刻蚀后的芯层表面再覆盖二氧化硅材料，作为上包层；该上下包层的作用是束缚光波，而芯层是传输光波。