洁净环境监测系统<%=id%>

所属分类：	自动化	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	天津大学	所在地域：	天津
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	生产环境中空气、工艺用纯气和液体的洁净度及其他空气参数（温／湿度、风速、压差）对半导体、制药、电子等行业有着至关重要的作用。采用便携式或车载式的空气粒子计数器对洁净厂房的洁净度进行定期的人工巡检存在一些缺点，为了克服人工检测的缺点，技术方研制了环境实时监测系统对洁净厂房进行监测。技术原理及工艺流程：环境监测系统有多空气计数器集中监测系统、多管式顺序采样监测系统和多环境参数混合集中监测系统三种形式。根据不同的洁净厂房要求，在不同的洁净区域设计相应的环境监测系统。这样，既可满足监测要求又能降低采样的成本。成果水平及主要技术指标：1）多空气粒子计数器集中监测系统：将多个粒子计数器架设在洁净室或生产设备的测定点上，可随时并行收集各点数据。2）多管式顺序采样监测系统：该方法采用的是一台大流量粒子计数器与多根软管相连，依次更换测定点的方式。3）多环境参数混合集中监测系统：微粒子的控制主要是对空气中的微粒子（洁净室、洁净工作区、各种工艺生产设备中的尘埃等），同时对液体中微粒子（洗净槽、纯水管线、工艺用化学品等）及工艺纯气中微粒子也用了同时多点监测、集中管理的方法，对各种空气状态参数（温度、湿度、风速和压差）也要进行测量，形成环境参数多点集中监测系统。生产规模及产量：50套／年需厂房100m2；设备投资30万元；总投资50万元。市场分析及效益预测：环境的状况对产品质量的影响往往随产品成本的提高而提高，一套功能齐全，运行稳定，操作简便的环境监测系统将会给投资者带来理想的收益。该系统有较好的应用前景。

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