纳米级微驱动机器人<%=id%>

所属分类：	综合其他	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	哈尔滨工业大学	所在地域：	黑龙江
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	纳米微定位系统是指机器人的运动位移在几微米和几百微米的范围内，其分辩率、定位精度和重复定位精度在纳米级的范围内，技术涉及到精密机械、机器人、计算机、自动控制、精密测量等多学科领域。可应用于微型机械零件的装配，MEMS组装与封装、生物工程、显微医疗、超精密加工、集成电路制造、光学调整、扫描显微镜等。