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| 所属分类： |
综合其他 |
项目来源： |
自创 |
| 技术持有方姓名： |
沈阳仪表科学研究院 |
所在地域： |
北京 |
| 是否中介： |
否 |
是否重点项目： |
否 |
技术简介：
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本项目以MEMS技术为核心技术,自主建立产品设计、微电子和微机械加工，至封装测试系统技术平台。技术居国内领先，国际九十年代中期水平。产品有表、差、绝压3个品种；3kPa—100MPa系列化量程；年稳定性优于0.2%R.S;失效率七级.适用于过程控制、仪器装备、汽车、军工等领域，已实现军工配套和批量出口欧美。项目实施提高了我国传感器技术水平，壮大了民族产业。在企业建立生产线，形成10万只年产能力，相关产品累计产值2000多万元，新增利税450万元。 |
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