高真空磁过滤弧源<%=id%>

所属分类：	综合其他	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	大连理工大学	所在地域：	辽宁
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	高真空磁过滤弧源饭知弧源屏蔽、阴极靶、引弧磁体、触发机构、水冷阳极、主弧电源、辅助阳极电源、辅助阳极、磁场线圈、离化阳极和离化电源，其真空度为10-1～10-3Pa量级。其工艺为：启动触发机构产生金属弧斑，启动辅助阳极及电源产生预备弧等离子体；启动主弧电源产生稳定的等离子体，在磁场线圈产生的磁过滤磁场的引导下经过离化电源施加的电场的作用，二次离化和过滤金属液滴；阴极靶自阴极、阳极与触发极组成，阳极外绕有磁场线圈。该装置液滴滤除90%，真空度可达10-3Pa量级，适合于镀膜、离子注入等设备，广泛用于电子、工具、建筑玻璃和装饰的高级镀膜领域。