单电荷态ECR离子源<%=id%>

所属分类：	综合其他	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院近代物理研究所	所在地域：	甘肃
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该实用新型专利是一种单电荷态ECR离子源，包括微波窗、磁场、弧腔、等离子体电极、吸极、绝缘环和法拉第筒。磁铁部分为永磁体，在弧腔内设有双层水冷；在微波窗前没有微波产生及传输装置。该单电荷态ECR离子源利用双层水冷弧腔来冷却永磁体，可避免对永磁体的腐蚀，用永磁体代替线包，可减少调节量、降低造价，采用结构简单的微波产生及传输系统可大大降低成本。