喷雾热分解方法制备薄膜<%=id%>

所属分类：	综合其他	项目来源：	自创
技术持有方姓名：	中国科学院新疆物理研究所	所在地域：	新疆
是否中介：	否	是否重点项目：	否
技术简介：	该发明专利是一种薄膜制备的喷雾热分解方法。该方法首先配制所需金属盐溶液，然后经过压缩空气雾化器，使溶液雾化，在载流气体的带动下喷进放置有被加热基板的容器中，雾体经过烘烤后挥发去溶剂，并进一步分解沉积，在基板上成膜。该方法易于控制化学计量比，具有良好的取向性和外延性、成本低、不需多次镀膜，同时雾化时不发热，而且雾量稳定，不需冷却装置。该方法可制备金属氧化物薄膜。