一种双面超导带材缓冲层的连续制备方法<%=id%>

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. 摘要　.
.一种双面超导带材缓冲层的连续制备方法，属于超导材料技术领域，特别涉及超导带材的制备方法。本发明使用一种带有上、下两个转盘的对靶磁控溅射装置，所述溅射装置的上转盘8和下转盘1位于对靶4中心连线的垂直平分线的上下，且分别由一个步进电机控制；并利用对靶磁控溅射工艺沉积缓冲层薄膜，从而制得双面长超导带材缓冲层。使用本发明可以实现高温超导带材缓冲层的快速、连续制备，充分提高了制备效率，同时使用该方法制备出的薄膜两面一致性，单面均匀性好，取向度高，表面平整度高；本发明为工业快速生长第二代高温超导带材氧化物过渡层薄膜提供了良好的实现途径。
. 主权项　.
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