液体混合供给方法<%=id%>

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主分类号: 　.. .B01F3/08(2006.01)I.. 范畴分类: 　.. ...

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分类号: 　.. .B01F3/08(2006.01)I;B01F15/04(2006.01)I;B01J4/02(2006.01)I..

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优先权: 　.. .2005.3.17 KR 10-2005-0022323..

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申请（专利权）人: 　.. .细美事有限公司..

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地址: 　.. .韩国忠清南道..

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发明（设计）人: 　.. .张秀逸;崔光一..

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国际申请: 　.. ...

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国际公布: 　.. ...

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进入国家日期: 　.. ...

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专利代理机构: 　.. .北京信慧永光知识产权代理有限责任公司..

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代理人: 　.. .武玉琴;张友文..

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分案申请号: 　.. ... 国省代码: 　.. .韩国;KR..

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颁证日: 　.. ... 光盘号: 　.. .D0640-1..

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摘要: 　..

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本发明提供一种用于制备混合蚀刻溶液的液体混合供给方法，其中将硫酸、过氧化氢、超纯水以及氢氟酸混合到一起。该液体混合供给方法包括：将特定液体化学品供给到混合罐，使得该特定液体化学品以ppm 单位混合；以及以预定比将至少两种液体化学品和超纯水供给到混合罐，并使它们混合，其中所述至少两种液体化学品和所述超纯水的供给起始点互不相同。因为硫酸、过氧化氢以及超纯水的供给起始点互不相同，所以，可最小化由于硫酸与过氧化氢之间的反应所产生的热量。　..

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主权项: 　..

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1.一种液体混合供给方法，包括：将特定液体化学品供给到混合罐，使得该特定液体化学品以ppm单位混合；以及以预定比将至少两种液体化学品和超纯水供给到所述混合罐，并使它们混合，其中，所述至少两种液体化学品和所述超纯水的供给起始点互不相同。..

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