硅基液晶铝反射电极的钝化保护方法<%=id%>

布：.. 进入国家日期：..
专利代理机构：.. 中科专利商标代理有限责任公司. 代.. 理.. 人：. 周国城
.
. 摘要　.
.一种硅基液晶(LCOS)铝反射电极的钝化保护方法，属于微电子器件制备技术领域，其工艺步骤如下：1.在硅基片表面上光刻出反射电极图形；2.在光刻出图形的硅片表面用电子束蒸发出铝薄膜；3.采用常规剥离工艺得到所需的铝反射电极图形；4.在铝反射电极上生长二氧化硅作为钝化层，完成制作。本发明方法具有成本低和工艺简单的优点。
. 主权项　.
.

中国科技资讯网
.

设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明