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商标代理有限公司. 代.. 理.. 人:. 楼仙英 . . 摘要 . .半导体集成电路的内连焊盘,焊盘包括:六层金属层M1-M6,分别设置在相邻金属层之间的多层介质层;和设置在发明焊盘的最底层金属层 M1和顶层金属层M6之间金属电路2;其特征是,焊盘最底层金属层M1 和顶层金属层M6的尺寸与焊盘的整体尺寸相同,最底层金属层M1和顶层金属层M6之间镶嵌类似于金属-介质-金属(MIM)结构的无源装置,无源装置的金属层不连续,无源装置的金属层图形随着电路图形变化而变化。 . 主权项 . .1、半导体集成电路的内连焊盘,焊盘包括:六层金属层M1-M6,分别设置在相邻金属层之间的多层介质层;和设置在发明焊盘的最底层金属层M1和顶层金属层M6之间金属电路2;其特征是,焊盘最底层金属层M1 和顶层金属层M6的尺寸与焊盘的整体尺寸相同,最底层金属层M1和顶层金属层M6之间镶嵌类似于金属-介质-金属(MIM)结构的无源装置,无源装置的金属层不连续,无源装置的金属层图形随着电路图形变化而变化;焊盘最底层金属层M1起到分散应力的作用,使位于金属层之间的介质层的整体性在焊接过程中不被破坏,甚至在焊接过程中焊盘与其最接近的金属层之间的介质损坏时,漏电流也会在金属层终止,焊盘底层金属层 M1保护器件在封装过程中不被损坏;焊盘顶层金属层M6,通过不在有源器件上的链路电连接,以防止损坏器件。. .
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