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专利 代理 机构:.. 北京林达刘知识产权代理事务所. 代.. 理.. 人:. 刘新宇 . . 摘要 . .本发明提供一种集成电路及其制造方法。所述集成电路包括一导电层于一介电层中的一沟槽中,以及一渐层顶盖层于该导电层上,其中该渐层顶盖层包括一渐层的金属合金,于邻近该导电层的浓度大于或等于95at%钴、镍、或上述的组合以及于该导电层相对端的浓度小于或等于95at%钴、镍、或上述的组合。本发明提供一种顶盖层、胶着层、保护/阻障层、或渐层顶盖层于集成电路中的导电层上,其与导电层间具良好粘着性质且能阻障导电层扩散进入层间介电层,以改善集成电路的电性如电阻率及导电性。 . 主权项 . .1.一种集成电路,所述集成电路包括: 一导电层于一第一介电层中的一沟槽中;以及 一渐层顶盖层于该导电层上。.
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