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请:.. 国. 际. 公. 布:.. 进入国家日期:.. 专利 代理 机构:.. 北京林达刘知识产权代理事务所. 代.. 理.. 人:. 刘新宇 . . 摘要 . .本发明涉及一种半导体装置,其包括:一半导体基底,该半导体基底包括多个导电通道区;多个金属硅化物,于该半导体基底上;一应变诱发层,于这些金属硅化物上,该应变诱发层具有一大体低浓度的单核双原子化学键。本发明还涉及一种半导体装置的制造方法。 . 主权项 . .1.一种半导体装置,包括: 一半导体基底,该半导体基底包括多个导电通道区; 多个金属硅化物于该半导体基底上; 一应变诱发层于这些金属硅化物上,该应变诱发层具有低浓度的单核双原子化学键。. .
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