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特征在于：它包含有铁电薄膜悬臂梁及与该梁做成一体的微反射镜，所述的铁电膜可以是单层、双层或多层；所述的悬臂梁是绝缘层/金属/铁电材料/金属/绝缘材料/衬底层构成的多层膜结构；悬臂梁衬底材料是Si或GaAS或GaN或I 半导体材料或它们的复合。相应地给出了一种SiO2/Pt/PZT(锆钛酸铅)/Pt/Ti/SiO2/Si复合膜的例子。同时给出了典型的集成铁电微镜式光开关的制作流程图。与现有的可动镜式光开关相比，它具有体积小、结构简单、容易控制与操作、可靠性高、易加工且适合批量生产等优点。
主权项
权利要求书 1.集成铁电微镜式光开关，其特征在于：它含有铁电薄膜悬臂梁以及与该梁做成一体的微反射镜。
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