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用传感器检测从该样本上射出的二次电子，其中传感器放置在差异环境之内，处理来自传感器检测信号的处理装置放置在差异环境之外，而传输装置发射来自传感器的检测信号到处理装置。
主权项
权利要求书
1.一种检测设备，用于检测样本表面上的精细几何图形，包括：
照射装置，用于照射辐射波束到不同于大气的差异环境中放置的
样本；
传感器；
引导装置，用于引导从样本上射出的二次辐射到传感器；
处理装置，用于处理从传感器输出的检测信号；和
传输装置，用于发射来自传感器的检测信号到处理装置，
其中传感器放置在差异环境之内，处理装置放置在差异环境之外。
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