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个衬底上进行均匀的液体处理的液体处理装置。显影处理单元(DEV)24具有按大致水平状态在一个方向上运送LCD衬底G的滚动运送机构14；向LCD衬底G上喷出显影液的主显影液喷嘴51a和副显影液喷嘴51b；使主显影液喷嘴51a和副显影液喷嘴51b扫描过LCD衬底G的喷嘴移动机构60a。通过边驱动喷嘴移动机构60a使主显影液喷嘴51a和副显影液喷嘴51b扫描过LCD衬底G边从主显影液喷嘴51a和副显影液喷嘴51b向LCD衬底G喷出显影液，缩短显影液的液体盛装时间，在整个LCD衬底G上进行均匀的显影处理。
主权项
权利要求书
1.一种液体处理装置，其特征是，具有按大致水平状态在一个方向上运送
衬底的运送机构；和向通过所述运送机构运送的衬底表面喷出处理液的处理液喷
嘴；使所述处理液喷嘴以规定速度在衬底上移动的喷嘴移动机构；一边通过所述
喷嘴移动机构移动所述处理液喷嘴一边从所述处理液喷嘴喷出处理液，向衬底涂
布处理液。
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