光刻成像滤波装置<%=id%>

本不受阻挡，改变了投影光刻机成像光学系统的光瞳函数，以及光学系统传递函数。本发明的光刻成像滤波装置对成像系统进行双重频谱调制，改善了频谱传输特性，提高了投影成像光刻分辨力。
主权项
　权利要求书 1、一种光刻成像滤波装置，包括椭球镜(1)、照明光源(2)、聚光镜组(4)、掩模板(5)、投影成像物镜以及硅片(9)，其特征在于：在成像物镜前镜组(6)的后焦面和后镜组(8)的前焦面位置，即成像物镜的光瞳面位置，放置对成像光同时进行相位和振幅滤波的复合滤波板 (7)。

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