防止电弧产生的静电卡盘<%=id%>

一种静电卡盘包括：金属板，位于金属板上的介电层，介电层和金属板具有起模针孔和冷却气体注入孔；通过起模针孔上下移动的起模针；位于起模针孔内表面上的第一保护绝缘体；以及位于注入孔内表面上的第二保护绝缘体。
主权项
　权利要求书 1.一种静电卡盘，其包括：金属板；位于金属板上的介电层，介电层和金属板具有起模针孔和冷却气体的注入孔；通过起模针孔上下移动的起模针；位于起模针孔内表面上的第一保护绝缘体；以及位于注入孔内表面上的第二保护绝缘体。

设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明