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			您现在的位置在：  首页>>专利 >>专利推广 高纯度低电阻的静电吸盘<%=id%> 通过使本体暴露在贫氮气氛(如主要包括氩的气氛)中至少约1000℃的热炼温度下来降低主要由氮化铝组成的本体的体积电阻系数。该本体可以是例如致密化或烧结体(如多晶体)的氮化铝粉料的坯体。静电吸盘在吸盘体内有一电极。吸盘体的第一部分在电极的第一面上，具有小于约1×1013Ω·cm的23℃体积电阻系数。第二部分在电极的第二面上，其体积电阻系数在和第一部分的同一个数量级内。 主权项 　 权利要求书 1.一种降低主要由氮化铝组成的本体的体积电阻系数的方法，该方法包括在 贫氮气氛中将该本体暴露于至少为约1000℃的温度。

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