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摘要
本发明涉及一种对许多中空体(1)的内表面同时进行涂层的机器。为了提高所述机器的性能，该中空体载板(2)具有许多彼此相邻设置成矩阵状的固定点(22)，管支承板(3)具有与所述固定点(22)对应的、竖直设置的供气管。在机架(16)上固定有一同样也是竖直设置的分隔壁(15)，该分隔壁具有布置成相应匹配的、彼此相邻设置成矩阵状的带有石英窗的许多孔。载板(2)和管支承板(3)具有一驱动机构(23)，用于使其水平移入机器和对所述机器进行装料和卸料。分隔壁(15)、中空体载板(2)、管支承板(3)及它们的功能附件(10，11，23-25)形成一第一模块。在机架(16)上固定有一与第一模块成镜象关系的第二模块结构。设置成矩阵状的微波单元(12)设置在所述模块之间。
主权项
权利要求书
1.一种对许多中空体(1)的内表面同时进行涂层的机器，这些中空体以
这样一种方式保持在一基本平坦的中空体载板(2)上，固定于一基本平坦的管
支承板(3)的一相应的加工气体供气管(4)可以导入中空体(1)，包括载板(2)
和平行于它的管支承板(3)的单元(7)可以移入和移出相应的可抽空处理室
(8)，其中各中空体(1)的处理室(8)配有一带谐振器(13)的微波单元(12)，其
特征在于
1)中空体载板(2)和管支承板(3)是竖直取向，中空体载板的各固定点(22)布
置成彼此并排的矩阵状关系，管支承板的各供气管(4)布置成与所述各固定点
(22)相应的关系，
2)机架(16)固定有一同样是竖直取向的分隔壁(15)，该分隔壁具有布置成相
应匹配的、彼此并排的矩阵状关系的许多孔(17)，这些孔具有石英窗(18)，
3)载板(2)和管支承板(3)具有一使它们水平移入和移出机器以进行装料和卸
料的驱动装置(23)，
4)分隔壁(15)、中空体载板(2)和管支承板(3)及它们的功能附件
(5，10，11，23-25)形成一第一模块(26)，
5)机架(16)以与第一模块(26)成镜象关系地固定有一相应结构的第二模块
(26)，以及
6)布置成矩阵状结构的微波单元(12)设置在两个模块(26)之间。
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