垂直轴线从动测试头机械手配重平衡的对接运动<%=id%>

一个定位器，例如半导体晶片和装置测试机的测试头载体，包括一个垂直支承和一个支承该测试头的主臂。利用诸如配重一类的平衡力，使主臂悬浮，以便进行微调运动。主臂的悬浮是在一定的传动比下达到的，因此，可利用小的平衡力和配重的大运动来进行微调运动。垂直支承可用不顺从的驱动装置，例如滚珠丝杠机构，来调整。还可以利用微调运动来感测碰撞和其他定位错误，并可以控制垂直支承的驱动装置的工作。
主权项
　权利要求书 1.一种支承负载的设备，该设备包括：一个进行负载第一位置调整的驱动机构；和一个进行负载第二位置调整的结合机构，该结合机构具有与负载结合的承载部件，和承受平衡力的输入部件，该结合机构具有大于1的传动比，由于传动比，作用在输入部件上的平衡力增加，而产生了一个更大的施加在负载上的合力，该平衡力在基本上无重量的状态下支承该负载。

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