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摘要
使用负性感光树脂组合物形成倒锥形抗蚀图案的方法,其特征在于负性感光树脂组合物包括(A)碱溶性树脂,该树脂由用通式(I)代表的羟甲基双酚化合物、醛和任选的苯酚化合物缩聚得到,(B)交联剂和(C)光致酸生成剂。本发明形成的图案为良好的倒锥形图形,在喷射法中,它可以成为抗蚀图案,并可以作为有机EL板的隔离层。
主权项
权利要求书
1.使用负性感光树脂组合物形成倒锥形抗蚀图案的方法,其
中负性感光树脂组合物包括碱溶性树脂,该树脂由通式(I)代表的
羟甲基双酚化合物和醛缩聚得到,根据需要任选加入苯酚类化合
物:
其中R1到R4分别代表氢原子、C1到C3的烷基或-CH2OH,
并且R1到R4中至少一个代表-CH2OH,以及R5和R6分别代表氢
原子或C1到C3烷基。
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