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金属-绝缘体-金属电容器及其制作方法<%=id%> |
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摘要
集成组件层结构中的电容器层叠(12)与邻近的互连层(13)之间除电介质夹层(5)外具有相同的层序列。这显著地方便了通孔(16)的制作。
主权项
权利要求书
1.一种有多个互连层(13)和一个电容器(12)的集成元件,
其中的电容器(12)包含一个第一电极(14)、一个电介质夹层(5)
和一个第二电极(15),其特征在于,电容器(12)的电极(14和
15)总的层序列(3、4、7-11)与邻近互连层(13)的层序列(3、
4、7-11)完全相同。
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