基板的洗涤方法，基板洗涤装置以及零件的安装方法<%=id%>

一种在腔室内干洗树脂系基板上的接合部位的基板洗涤方法，其特征是，至少向上述腔室内的所述接合部位供给一种以上的选自含有氢元素的气体和含有氟元素的气体中的气体，在被供给的气体中生成等离子体，并利用由生成的等离子体所产生的自由基或离子在上述腔室内洗涤上述基板。本发明还涉及基板洗涤装置以及零件的安装方法。
主权项
　权利要求书 1、一种基板洗涤方法，是在腔室内干洗树脂系基板上的接合部位的基板洗涤方法，其特征在于，向上述腔室内的至少所述接合部位供给从含氢元素的气体和含氟元素的气体中选择的一种以上气体，在被供给的气体中生成等离子体，并利用由生成的等离子体所产生的自由基或离子在上述腔室内洗涤上述基板。

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