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采用全息图调准光学系统的方法及其装置<%=id%> |
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程上。一光学元件和一全息元件安装在一镜筒之中。光学元件的调准误差是根据由参考光束和测试光束在一成像表面上形成的干涉图样测定的。光学元件被调准以消除调准误差。因而,光学系统的调准误差可以以实时方式和以精确方式予以测定。
主权项
权利要求书
1.一种光学系统调准方法,包括:
在一镜筒中安装一光学元件和一全息元件;
根据由参考光束和测试光束在一成像表面上形成的干涉图样测定光学
元件的调准误差;以及
调准光学元件以消除调准误差。
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