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半导体晶片表面保护用粘结膜及使用其保护该晶片方法<%=id%> |
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以提供一种具有优良密合性、防破损性和非污染性的半导体晶片表面保护用粘结膜为目的,提供了一种半导体晶片表面保护用粘结膜,其特征在于:在基材膜的一个表面上设置至少一层中间层,和粘结剂层,粘结剂层(B)在50~100℃下的储藏弹性模数(G’)最小值(G’min)为0.07~5MPa,中间层的至少一层(C)50℃下的储藏弹性模数在0.001MPa以上和0.07MPa以下,而且粘结剂层(B)的厚度(tb,单位:微米)与具有上述弹性模数的中间层(C)的总厚度(tc,单位:微米)满足下述关系式(1):tc ≥3 tb…(1)。
主权项
权利要求书
1、一种半导体晶片表面保护用粘结膜,其特征在于:在基材膜的一
个表面上设置至少一层中间层,和粘结剂层,粘结剂层(B)在50~100
℃下储藏弹性模数(G’)最小值(G’min)为0.07~5MPa,中间层的至少
一层(C)在50℃下的储藏弹性模数在0.001MPa以上和0.07MPa以下,
而且粘结剂层(B)的厚度(tb,单位:微米)与具有上述弹性模数的中
间层(C)的总厚度(tc,单位:微米)满足下述关系式(1):tc≥3tb…
(1)。
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