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薄膜基板、半导体器件、电路基板及其制造方法<%=id%> |
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一种薄膜基板,具备:在将来要分离的区域的外周线上边具有切缝部分,装载半导体器件芯片的绝缘性薄片;在上述绝缘性薄片上边形成,横穿上述切缝部分,连接到上述半导体器件芯片的外部端子上的导电性图形。
主权项
权利要求书
1.一种薄膜基板,具备:在将来要分离的区域的外周线上边具有切
缝部分(#slit portion#),装载半导体器件芯片的绝缘性薄片;
在上述绝缘性薄片上边形成,横穿上述切缝部分,连接到上述半导体器
件芯片的外部端子上的导电性图形。
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