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    薄膜基板、半导体器件、电路基板及其制造方法<%=id%>

    一种薄膜基板,具备:在将来要分离的区域的外周线上边具有切缝部分,装载半导体器件芯片的绝缘性薄片;在上述绝缘性薄片上边形成,横穿上述切缝部分,连接到上述半导体器件芯片的外部端子上的导电性图形。
    主权项
      权利要求书 1.一种薄膜基板,具备:在将来要分离的区域的外周线上边具有切 缝部分(#slit portion#),装载半导体器件芯片的绝缘性薄片; 在上述绝缘性薄片上边形成,横穿上述切缝部分,连接到上述半导体器 件芯片的外部端子上的导电性图形。
         

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