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本发明涉及一种除雾装置及空气净化装置。其中空气净化装置设置在显像装置、腐蚀装置、洗涤装置等的湿式处理装置上,通过循环装置内的空气,可以减少设置时的成本,进而可以防止环境的破坏。装置内的空气通过风扇用过滤器单元(9)进行过滤,用过滤器单元(9)进行过滤了的空气通过导管(10)吹到各装置的入口(6)及出口(7)附近。在各装置的入口(6)及出口(7)造成负压,所以从导管(10)出来的空气返回到装置本体的内部。这样可以使装置内的空气循环,降低设置时的成本,进而防止环境的破坏。
主权项
权利要求书
1.一种除雾装置,是为了除去含在空气中的雾沫的除雾装置,其
特征是在装置内形成的空气流路中,具有为了将含在空气中的雾沫
通过惯性冲突除去,使空气进行冲突的惯性冲突部件和、为了将含
在空气中的雾沫捕集成液体粒子除去而喷射液体的喷雾部分和、配
置在下游侧,为了通过时捕集除去含在空气中的雾沫可使空气通过
的细密的过滤器和、向流路内通入空气的风扇。
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