|
|
|
|
|
|
|
|
属于半导体电子材料镀膜领域。为具有一定规律分布的小圆孔的一维结构喷嘴，或为具有一定规律排列的阵列两维结构的两维喷嘴，或者是一维单狭缝喷嘴和多组长条型狭缝喷嘴平行排列的二维喷嘴，喷嘴的喷孔有两种结构，一是小圆孔喷孔，二是狭缝喷孔，一维喷嘴上的小圆孔喷孔，为单行均匀分布排列，两维结构喷嘴的小圆孔分布在50×50mm2～150×150mm2两维范围内，一维单狭缝喷嘴和多组长条型狭缝喷嘴平行排列，它们分布在50×50mm2～150×150mm2两维范围内。采用本发明的喷嘴得到的大面积透明导电薄膜，其方块电阻可达4Ω/□，透过率达90％(600nm波长入射光)，薄膜中心和边缘的膜厚、电学性质不均匀度小于5％，更适合工业化大规模生产。
主权项
权利要求书
1、一种喷涂沉积大面积均匀透明导电薄膜的喷嘴，其特征在于：为具有一定
规律分布的小圆孔(1)的一维结构喷嘴，或为具有一定规律排列的阵列(2)两
维结构的两维喷嘴，或者是一维单狭缝(3)喷嘴和多组长条型狭缝(3)喷嘴平
行排列的二维喷嘴，喷嘴的喷孔有两种结构，一是小圆孔(1)喷孔，二是狭缝
(3)喷孔，一维喷嘴上的小圆孔(1)喷孔，为单行均匀分布排列，两维结构喷
嘴的小圆孔(1)分布在50×50mm2～150×150mm2两维范围内，一维单狭缝(3)喷嘴
和多组长条型狭缝(3)喷嘴平行排列，它们分布在50×50mm2～150×150mm2两维范
围内。
|
|
|
|
|
设为首页 | 加入收藏 | 广告服务 | 友情链接 | 版权申明
Copyriht 2007 - 2008 © 科普之友 All right reserved |
