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    具有多孔、中空电极的等离子体聚合处理装置<%=id%>

    体和非反应气体的注入口、气体排出口,聚合箱的两侧分别设置推卷机和卷绕机;电极为两个不同极性的相互对应的第一、二电极,其间保持一定间距;第一电极的一边与第二电极的边缘相连;第一、二电极的内部均为中空状,且用绝缘体形成一个封闭结构;该第一、二电极及绝缘体组成的封闭体的一面设有气体注入口,第二电极表面呈多孔状,以构成含有多孔、内部是中空状的电极结构。本发明当进行聚合处理时防止电极上形成聚合物并碳化,还可防止反应气体对电极的碳化,使放电稳定,避免发生弓形板的现象。
    主权项
      权利要求书 1、一种具有多孔、中空电极的等离子体聚合处理装置,包括聚合箱、 经聚合处理的机板、供电装置、电极、反应气体、非反应气体、供注入反应 气体和非反应气体的注入口、气体排出口,聚合箱的两侧分别设置推卷机和 卷绕机;其特征在于所述电极为两个不同极性的相互对应的第一、第二电极, 其间保持一定间距;第一电极的一边与第二电极的边缘相连;第一、二电极 的内部均为中空状,且用绝缘体形成一个封闭结构;该第一、二电极及绝缘 体组成的封闭体的一面设有气体注入口,第二电极表面呈多孔状,以构成含 有多孔、内部是中空状的电极结构。
         

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