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具有防止电极碳化结构的等离子体聚合装置<%=id%> |
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一种具有防止电极碳化结构的等离子体聚合装置,包括工作箱,其内部设有上、下电极,其一侧设有提供薄板的放缠绕机,另一侧设置缠绕形成聚合物镀膜薄板的缠绕机;上、下电极后部设有为缩小放电范围,以减少形成聚合物镀膜的屏蔽板;屏蔽板下面附着有为割断进行聚合物镀膜的金属网丝。本发明可减少电极上附着的聚合物以延长电极的使用寿命。
主权项
权利要求书
1、一种具有防止电极碳化结构的等离子体聚合装置,包括工作箱,其内
部设有上、下电极,其一侧设有提供薄板的放缠绕机,另一侧设置缠绕形成
聚合物镀膜薄板的缠绕机;其特征在于所述上、下电极后部设有为缩小放电
范围,以减少形成聚合物镀膜的屏蔽板。
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