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    紫外光子复合辉光放电化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法<%=id%>
    生长衬底表面进行照射。用该方法制备金刚石薄膜具有生长速度快和质量高的优点。
    主权项
    　 权利要求书 紫外光子复合辉光放电化学气相沉积制备金刚石薄膜的方法，其 特征是，它是用紫外光对直流辉光放电化学气相沉积金刚石膜反应腔 中的生长衬底表面进行照射。
         

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