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本发明提供了能够在保持高分辨率的同时获得高感光性的化学放大型正性光刻胶组合物，包括(A)下式(I)的化合物：其中，R1表示任选具有含氧原子或氮原子的取代基或任选被卤素原子取代的烃基；(B)本身在碱水溶液中不溶或溶解性低但通过酸的作用而变成在碱水溶液中可溶的树脂；和(C)季铵盐。
主权项
权利要求书
1、化学放大型正性光刻胶组合物，包括：
(A)下式(I)的化合物：
其中，R1表示任选地具有含氧原子或氮原子的取代基或任选地被卤
素原子取代的烃基；
(B)本身在碱水溶液中不溶或溶解性低但通过酸的作用而变成在碱
水溶液中可溶的树脂；和
(C)季铵盐。
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